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文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2024-02-29 10:14:27【 】
电子硅烷气体与半导体行业的不解之缘

硅烷2

首先,我们说的电子级硅烷气是什么?

电子硅烷气是一种特殊的电子气体,主要由硅粉、氢气、四氯化硅、催化剂等反应蒸馏净化而成。

纯度超过6n的称为电子级硅烷气。

电子硅烷气体与半导体行业的不解之缘

电子级硅烷气主要用于半导体行业,那么它在这个应用中起到了什么作用呢?

电子硅烷气是一种不可替代的特殊气体,主要用于生产颗粒单晶硅、多晶硅、半导体、光伏、显示面板等

领域。


电子硅烷气主要用于半导体中的化学气相沉积,主要用于半导体、集成电路等的生产。

电子硅烷气在集成电路制造中起着关键作用,特别是在半导体薄膜沉积中,是形成薄膜的主要原料之一。

在芯片制造过程中,需要使用各种电子特性气体,包括硅烷、ph3等掺杂气体、cf4等蚀刻气体、wf6等

金属气相沉积气体等反应气体和清洗气体。


这些特殊气体广泛应用于硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注射等核心工艺。

在光伏产业中,电子硅烷气作用于光伏电池生产减反射膜,对光伏电池的光吸收效率和电性能有重大影响。

集成电路中硅烷气的市场情况如何?

2020年,中国集成电路市场规模持续上升,达到1445亿美元。

但事实上,2020年,中国生产了230亿美元的集成电路产品,国内对集成电路的需求依然依赖进口,未来还

有很大的改进空间。


得益于集成电路产业的发展,电子级硅烷气的应用需求不断上升,产业发展前景良好。

我国硅烷所代表的特种气体市场情况如何?

在全球范围内,超过70%的电子特气应用于集成电路领域,而在中国,这一比例为42%。

虽然目前我国集成电路本地化进程仍面临诸多挑战,但随着市场需求的不断增长和技术实力的提高,电子硅

烷气在该领域的应用有望继续增长。


武汉纽瑞德特种气体公司销售的硅烷纯度99.999%,达到电子水平,一般采用44l、47l钢瓶充装,也可根

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