电子特气：电子工业的血液
特种气体主要包括高纯气体、电子气体和标准气体。电子特种气体（以下简称电子特种气体）是
特种气体的重要分支，是超大型集成电路（ic）、平面显示器件（lcd、led、oled）、电子
工业生产中不可缺少的原材料，如太阳能电池。
通常在半导体生产行业，气体分为常用气体和特殊气体。其中，常用气体是指集中供应和使用大
量气体，如 n2、h2、o2、ar、he 等。特种气体是指在半导体生产过程中使用的一些化学气体，
如延伸、离子注射、掺合、洗涤、掩膜形成，即气体类别中的电子气体，如高纯度 sih4、ph3、ash3、b2h6、 n2o、nh3、sf6、nf3、cf4、bcl3、bf3、hcl、cl2等，在 ic 在生产过程中，
使用的电子气体几乎相同 100 核心工段种类繁多，核心工段常见 30 种左右。正是这些气体通过不
同的工艺使硅片具有半导体性能，决定了集成电路的性能、集成度、成品率，即使特定杂质超标，
也会导致严重的质量缺陷，严重的不合格气体扩散，导致整个生产线污染，甚至完全瘫痪。因此，
电子气体是制造过程的基本关键材料，是电子工业的“血液”。
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硫、四氟化碳、高纯氨气、笑气、四氯化硅、六氟乙烷、三氟化氮、氯气、氯化氢气体、三氟甲烷、
硅烷等，具有很强的竞争实力。欢迎广大用户了解纽瑞德，选择纽瑞德，实现“合作共赢”。您和纽
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