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文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2024-05-16 09:24:27【 】

电子级硅烷气在半导体行业的应用

硅烷2

电子硅烷气主要用于半导体工业、显示面板工业、光伏工业、负极材料等。
电子级硅烷气(electronic grade silane)它是一种无色、非常活跃的压缩气体,在空气中自燃。

它被广泛使用,特别是在半导体行业中,电子硅烷气体起着至关重要的作用。在半导体行业中,

电子硅烷气体主要用于扩展沉积晶硅膜和生产多晶硅膜、一氧化硅膜和氮化硅膜。此外,它还

用于制作高纯多晶硅、二氧化硅膜、氮化硅膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同

质硅扩展生长原料,以及离子注入源和激光介质。在光伏行业中,电子硅烷气体作用于光伏电

池生产减反射膜,对光伏电池的光吸收效率和电性能有重大影响。电子硅烷气体在显示面板行

业和负极材料领域也发挥着重要作用。
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电子硅烷气的纯度一般在6n以上(99.9999%),具有纯度高、无污染、对设备无腐蚀、控制精细

等优点,已成为其他硅源气体无法替代的重要特种气体。它不仅用于大型或超大型集成电路、

芯片等电子行业,还用于液晶显示器行业、薄膜太阳能电池行业、半导体led照明行业和低辐

射(low-e)镀膜玻璃等领域。
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