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文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2024-04-17 10:34:26【 】

电子特气:半导体制造过程中的关键角色

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电子特气(specialty gases)它是电子工业中使用的一种特殊气体,在半导体、集成电路、显

示面板、光伏等领域的生产过程中发挥着关键作用。电子特殊气体的分类方法多种多样,主要

有以下几种:

按纯度和应用领域进行分类。电子特性可分为高纯度气体和超大型集成电路(ulsi)这些气体

用于半导体制造中的掺杂、蚀刻、气相沉积等工艺过程。
根据功能进行分类。电子特气可分为稀释气体、化学气相沉积(cvd)气体、蚀刻气体、掺杂

气体、外延气体、离子注入气体等。
根据应用程序进行分类。电子特殊气体可分为平板显示气体、半导体气体、光伏气体和发光二

极管(led)在半导体制造中,这些气体用于环境气、保护气、载气等。
按组分分类。电子特气可分为氮氧化物、氢化物、氟碳、碳氧化物、氨化物、混合物等。
在实际应用中,电子特气的种类非常丰富,包括氨、氦、氧化亚氮、teos(正硅酸乙酯)、teb

(硼酸三乙酯)、tepo(磷酸三乙酯)、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、

六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等。这些气体在半导体制造中发挥着重要作用,影响着产品的性能

和质量。
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