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[气体指南]常见的电子混合气体组分|纽瑞德特气[ 2020-04-14 15:10 ]: 电子工业用气体统称为电子气。在大规模集成电路（lsi）、超大规模集成电路（vlsi）、半导体和电子器件生产与加工过程中，电子气主要用于气相外延生长、化学气相淀积、掺杂（杂质扩散）、蚀刻、离子注入、溅射、退火、系统加压、洁净吹扫、吸气覆盖、氧化和还原等工艺。其中部分气体直接作为半导体源，如硅源、硼源、磷源和cvd 源等等。常见的几种电子混合气体： oxygen in tetrafluoromethane 4% o2/cf4 8% o2/cf4 1; http://www.qiti88.com/knowledge/cjddzhhqtz_1.html

[气体指南]常见的5种电子混合气体|纽瑞德特气[ 2020-04-09 15:49 ]: 气体在半导体工业和微电子工业中扮演着不可或缺的角色，其中除了大家熟知的一些大宗气体以外，还有一个重要的分支:电子混合气体。电子混合气体广泛用于大规模集成电路（l.s.i）超大规模集成电路（v.l.s.i）和半导体器件生产中，主要用于气相外延（生成）、化学气相淀积、掺杂（杂质扩散）、各类蚀刻和离子注入等工艺中。根据不同用途又可以将电子混合气体分为：晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相淀积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊; http://www.qiti88.com/knowledge/cjd5zdzhhq_1.html

[气体指南]电子混合气体是什么？有哪些？|纽瑞德特气[ 2020-04-09 15:33 ]: 随着我国工业技术的不断发展，我们对特种气体的需求量不断增加。特种气体有别于一般工业气体，它是具有特殊用途，并在特定领域中应用的，对纯度、杂质含量、组成、物化性能等方面有特殊要求的一类气体产品。与工业气体相比，特种气体的品种多而产销量小，常用的混合气体和标准校正气即特种气体的重要组成部分。电子混合气是常用的混合气体之一，指含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。由几种气体组成的混合物，是工程上常用的工质。混合气体通常被当作理想气体研究。; http://www.qiti88.com/knowledge/dzhhqtssmy_1.html

[气体指南]我国电子特气行业发展的新形式[ 2016-06-21 16:06 ]: 谈电子特气产品发展形势之前，必须先学习气体生产安全性。随着我国各种气体产能的增加，气体的安全显得尤为必要。目前国家的相关法律、法规对电子气体特气的安全管理缺乏针对性，有的还存在盲区。我国应该努力向国外先进标准看齐，制定适合我国实际特点的各种规定，确保电子特气生产、经营、贮存、运输、使用等诸多环节的安全。此什么叫电子混合气体？电子混合气是电子气体重要的组成部分。同超纯电子特气相比，电子混合气体种类因混合气体的组成、组分的浓度、气瓶体积、材质不同而异常复杂，组分使用浓度的范围较宽，从10; http://www.qiti88.com/knowledge/wgdztqxyfz_1.html

[气体指南]电子气体的发展、应用、分类及常用电子混合气体[ 2014-07-17 09:34 ]: 电子气体的发展及其应用，电子气的分类。常用电子混合气有外延生长混合气-蚀刻混合气-掺杂混合气-化学气相沉积混合气-离子注入气。; http://www.qiti88.com/knowledge/dzqtdfzjqy_1.html

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