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文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2020-04-09 15:33:00【 】

 随着我国工业技术的不断发展,我们对特种气体的需求量不断增加。特种气体有别于一般工业气体,它是具有特殊用途,并在特定领域中应用的,对纯度、杂质含量、组成、物化性能等方面有特殊要求的一类气体产品。与工业气体相比,特种气体的品种多而产销量小,常用的混合气体和标准校正气即特种气体的重要组成部分。

 
电子混合气是常用的混合气体之一,指含有两种或两种以上有效组份,或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。由几种气体组成的混合物,是工程上常用的工质。混合气体通常被当作理想气体研究。
 
电子混合气体包括:外延混合气、化学气相淀积混合气、掺杂混合气、蚀刻混合气及其他电子混合气。
 
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