运输的一般要求
(1)只允许有资格、有经验并经过全面培训的员工才能给储罐及槽车取样、连接、装载、卸载或断开。
(2)在取样、连接、装载、卸载或断开操作中，应穿着防护服，在装载或卸载区域8-15m的范围内，应设置紧急淋浴装置和洗眼喷泉，连接并准备好紧急情况下使用的消洗软管，在操作前应测试相关的设施是否完好。
装卸的方法
三氯氢硅装卸期间火灾危险性较大。由于三氯氢硅蒸气与空气会形成可燃混合物，烧爆炸，遇水或受潮会发生剧烈反应并生产有毒的hcl，且三氯氢硅自身具有较强毒性，因而对三氯氢硅装卸应有特殊的要求。其装卸方法为利用压缩机密闭状态装卸。用压缩机抽出储罐中的三氯氢硅混合气体(因三氯氢硅的挥发性和热膨胀性，容器内应留有不少于5%的空隙，即存在一定量的三氯氢硅混合气体)，压入槽车中，此时储罐内的压力降低，槽车内的压力升高，槽车和储罐间形成一定的压差，这样槽车内的三氯氢硅液体就借此压力被压送到储罐中，反之则将储罐中的三氯氢硅液体压送到槽车内。
三氯氢硅卸液必须严格遵守操作规程，操作人员应掌握本岗位的操作技术和防火要求，精心操作，随时监控压力表、液位计;在卸液是发动机应熄火，储罐内的三氯氢硅应停止使用，并有专人监护，雷雨天停止卸液。在卸液过程中还容易产生静电，应采用材质好且光滑的运输管道;槽车装卸液前，设备、管道都要先接好静电接地线，必须保持有效长度的接地拖链;卸液时严格控制流速，流速应控制在0.7~2m/s，以防止产生静电。
