所谓的单频准分子激光便是脉冲气体激光，在电流通过时被激活，释放出某一波长的单色光。气体是由惰性气体和卤素混合而成，激活的惰性气体和卤素可形成卤化物 “ｅｘｃｉｍｅｒ”一词来自激态分子的意思，即受激态准分子是一种激态二聚体“ｅｘｃｉｍｅｒ ｄｉｍｅｒ”，这两个单词组合成 “ｅｘｃｉｍｅｒ”。
目前运用的单频准分子激光首要有以下几种：氩氟（ａｒｆ）准分子激光其波长１９３ｎｍ；氪氟（ｋｒｆ）准分子激光其波长２４８ｎｍ；氙氯（ｘｅｃｌ）准分子激光其波长３０８ｎｍ； 氟（ｘｅｆ）准分子激光其波长３５１ｎｍ等。单频准分子激光是连续的脉冲气体激光，释放的光波长在紫外线范围内，脉冲宽度为１０～３０ ｎｓ，频率为０～３５ ｈｚ，４种单频准分子激光的波长为气体特异性的。
目前普遍运用的arf193以及xecl308准分子激光现已在医学领域和光电职业得到了广泛的运用，气体按科学的方法剖析，从稀有气体中去除所有有害的杂质。气体剖析证明，这些杂质的存在会影响准分子激光器达到最佳的运用功能。气体公司在全球出售这些优质的稀有气体和平衡气体，以满足所有准分子激光器的运用需求。全球最大的准分子激光器气体制造商现已证明：和任何激光器相关的任何气体或气体混合物，都对激光器的功能造成极其重要的影响，这些影响包括:
a 脉动能量
b 输出功率
c 充填一次气体的运用寿命
d 稳定性（一个脉动到另一个脉动）
为了保证激光器功能的最优化，气体的化学家研究团队仔细剖析每种气体化合物，特别监控对激光器功能有害的杂质气体，以保证产品的质量。这些剖析首要针对（但不仅限于）水分、氧气、碳氢化合物、和其他全部不必要的杂质。
