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文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2023-12-28 10:41:49【 】
特种气体哪里买?

气瓶


现在科学技术的发展和技术的提高,关于一些先进技术的制造材料也被称为越来越多,

在像芯片制造行业,需要一些更先进的材料,比如高纯度的硅烷,高纯一氧化二氮、

氨气、氖气等电子特种气体是作为半导体电子行业应用的一种特种气体,历来被誉为

电子行业的“血液”,广泛应用于各类半导体制造过程。


电子特种气体对气体质量要求非常高,我国大部分仍依赖进口。目前,我国部分产品

已取得突破,如高纯硅烷、高纯氨、高纯亚硝酸盐、高纯cl2、高纯氩、高纯锗烷等。

但国内电子行业存在一些难以突破的技术壁垒。


首先,深度净化技术难度大。以硅烷为例,纯度从4n提纯到6n还有很长的路要走。

除解决常见气态杂质的净化问题外,金属元素应净化至10-9至10-12级别。二是包装

储运跟不上。超高纯气体的生产和应用需要采用高质量的气体包装储运容器以及相

应的气体输送管道、阀门和接口,以避免二次污染的发生。三是分析测试理念落后。

电子气体生产和应用领域的分析检测技术的研究和开发在国内还没有引起足够的重视。


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