根据六氟化硫气体的基本物理性质，与空气相比，它相对容易液化。六氟化硫的状态取决于其压力、温度和其他参数。
六氟化硫气体的临界温度是高温极限，这表明气体可以液化。临界温度越低，气体液化的可能性越低。气体的临界温度为45.6℃。如果温度高于45.6℃，气体可以保持恒定状态。低于该温度，只要压力足够高，它就可以液化（例如，液化开始于0℃下约1.2mpa）。然而，对于n2，在室温下不存在液化问题，只有当温度低于146.8℃时才能液化。
六氟化硫气体的临界压力表示临界温度下液化所需的压力，即该温度下的饱和蒸汽压力。在临界温度下，饱和蒸汽的密度与液体的密度相同，两者之间的边界消失。蒸发热变为零，物理性质没有差异。
高纯度六氟化硫是一种无毒的惰性气体。但气体的质量大约是空气的五倍。在高压配电室或电缆沟中，当大量气体从六氟化硫断路器溢出时，六氟化硫首先积聚在地面上，然后从低到高不断积聚，以排出相应的空气。当工人进入房间或电缆沟时，他们吸入沉积在地板上的气体，导致缺氧或窒息。
