江西华特电子特气项目年产1936.2吨 震撼发布！
近日，永修县人民政府宣布，江西华特电子化工有限公司计划在江西省九江市永
修县经济开发区星火工业园区现有厂区投资17400万元建设年产1936.2吨电子特
种气体项目。根据《环境影响评价公众参与办法》（生态环境部令第4号）的规
定，向公众公布相关环境评价信息。
项目介绍
项目名称
江西华特永修年产1936.2吨电子特气项目。
建设地点
江西省九江市永修县经济开发区星火工业园区现有厂区，中心地理坐标为北纬
n29°8′16.331″，东经115°46′8.336″。
建设规模
一套15t/a乙硅烷、一套1t/a丙硅烷、一套0.2t/a乙锗烷、一套20t/a锗烷、一套
300t/ac4f6新扩建生产装置、一套600t/a环氧乙烷分装置、一套1000t/a三氟
化氮分装置。
关于三氟化氮
三氟化氮作为集成电路、显示面板等制造过程中使用的优良等离子蚀刻气体，
具有优异的蚀刻速率和选择性。与其他含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫相比，
不会导致碳和硫沉积到硅表面，使用后对表面污染小。因此，三氟化氮是目前
市场上最大的电子特种气体产品之一。
三氟化氮是国产化比较成功的含氟特气之一，国外生产企业主要包括sk materials
、韩国晓星、日本关东电化、德国默克等，国内生产企业主要包括南大光电、浩
华气体、中船特气。
关于六氟丁二烯
六氟丁二烯（c4f6）又称全氟丁二烯，作为下一代蚀刻气体，被认为具有竞争优
势。它可以取代cf4用于krf激光锐利蚀刻半导体电容器图形的干燥过程。c4f6
在先进工艺技术层面具有许多蚀刻优点：选择性高、精度高、各向异性好，适用
于100 nm以下电子线路蚀刻性能优于全氟碳气体和nf3；与c4f8相比，c4f6还
具有更高的光阻和氮化硅选择比，这是两个非常重要的优点；此外，环境也是一
个非常重要的因素，c4f6的全球变暖潜力值(gwp)几乎为零。专家指出，到目
前为止，c4f6可能是唯一能够提供所需蚀刻条件和减少排放的替代品。
六氟丁二烯(c4f6)是一种附加值高、市场前景广阔的电子气体。目前主要由海外
厂商和海外厂商在国内子公司经营，韩国厚城、梅塞尔、关东电化、大阳日酸在
国内都有生产布局。国内也有很多企业开始研究，包括绿菱气体、玉极科技、浙
江化工学院、派瑞特气体等。
