伴随着能源危机的不断加剧，国家关于清洁动力的展开越来越重视，光伏工业作为清洁动力的代表之一，敏捷占领市场并广受好评。跟着全球光伏商场的爆发性增长，作为光伏原料的多晶硅市场也是车水马龙，而多晶硅制备技术也在不断推陈出新，其中，改善西门子法、硅烷法、流化床法是市场应用最多的办法。
现在来说，成功完成多晶硅商业化出产的流化床装置都采用了硅烷流化床，其原料为硅烷与氢气。硅烷易与其他氯硅烷别离，本身分化温度低，分化率高，副反应少，这就赋予了硅烷流化床法很大的优势：精馏、尾气处理工序简单，能耗和单体出资都能大大降低，反应转化率挨近100%，流化床电耗仅为改善西门子法的10%~20%。别的，由于反应彻底，副反应少，整个反应系统可以做到彻底闭路循环。
流化床法一般是以硅烷或氯硅烷作为硅源气、以氢气作为载气，在流化床反应器内预先放置的硅籽晶上发生气相堆积反应。跟着出产进行，从流化床底部不断排出长大的颗粒硅产品，一同从顶部添加适量的硅籽晶。
我们知道，多晶硅按纯度要求分为金属级、电子级（eg）和太阳能级（sog），特别是关于电子级而言，要求多晶硅的纯度在11n。这就对多晶硅出产办法的产品纯度提出了难题。
由于关于产品纯度的苛刻要求，流化床法出产进程比其他流态化进程更为复杂，对装备制作也提出了更高的要求。
在反应进程中，硅烷气进入流化床后会敏捷分化，一部分发生异相反应，堆积至硅颗粒外表；另一部分发生均相反应，生成气相微核，该微核经过一系列聚合长大进程生成硅粉，在此聚合进程中还有一定份额粘附到硅颗粒外表，成为颗粒硅产品的一部分。这个复杂的进程导致了颗粒硅出产中某些问题会无法防止。
