今日，国内硅烷气项目建设有了新的进展。目前，年产3000吨硅烷气项目二期工程已与6月25号试车投产，运行平稳且达产达标，产品纯度已达99.999999%，主要经济指标接近或达到国外同类产品指标要求。
该项目的建成达产标志着我国高纯度硅烷大规模生产技术获得突破，结束了国内高纯度硅烷产品全部依靠进口的历史。
该项目采用硅烷法实现高纯度硅烷气的工业化生产，解决了国外镁硅法、氟硅法等传统硅烷气技术难以大规模生产以及成本高、排放大等难题，生产成本较国际同类产品低30%以上。
从2014年10月，一期工程年产600吨硅烷气的生产线成功投产，硅烷气纯度达8n级，随后，二期工程年产3000吨硅烷气项目与2016年7月开工建设，下一步将建设三期工程年产1.5万吨高纯硅烷气。
