电子特种气体是特种气体的一个重要分支，是集成电路（ic）、显示面板（lcd、oled）、光伏能源、光纤光缆等电子工业生产中不可或缺的关键性原材料，广泛应用于薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，其质量对电子元器件的性能有重要影响。
气体的产品种类丰富，电子元器件在其生产过程中对气体产品存在多样化需求。就集成电路制造过程中需要的高纯特种气体和
混合气体的种类超过 50 种，且每一种工艺步骤中都会用到特定的气体。此外，在显示面板、led、太阳能电池片等器件的制造中的不同工艺环节均会用到多种特种气体。
