在电子器件生产工艺中，广泛使用了各种高纯气体。按工艺中高纯度气体的不同用处，可将其分为维护气、反响气和载气。
用作维护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气。在国内为获取氢气和氨气，为取得较高纯度的氢气，一般都选用电解纯水的办法制取。这种办法需用大量电能来电解水，一般达4.5~ 5.5kwh /nm3h2，致使成本很高。
为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮－氢混合气为最多。国外多选用液态氢和液态氮汽化法取得氮氢混合气， 也有选用液氮分解法取得氮氢混合气的。
用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高． 国外，因为生产的专业化程度高，使用单位多选用这种办法取得混合气。 国内若从专业铝合金门窗厂或大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与氯气高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，大多数质量较差，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，现在，供应上较严重，故成本也较高。
氮氢混合气不仅可在生产电子器件时替代氧气用作维护气，还可广泛用于冶金、化工、机械等行业。 一旦广泛推广使用，必将发生可观的经济效益和社会效益。
