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文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2024-04-11 09:41:58【 】

当特种气体遇上显示屏

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显示屏是有源矩阵薄膜晶体管(tft),在二世纪九十年代开始投入民用,到如今已经是我们生

活中不可或缺的组成部分,它在我们生活中已经是随处可见了,大家天天离不开的手机、电视,

马路上的广告、标牌等等。
显示屏的制造与半导体器件的制造有许多相似的地方,不仅生产工艺步骤十分相似,而且在制造

过程中都需要使用大量的气体,使用的气体类型也大都相同。
显示屏生产中用到气体主要分为两大类:电子特种气体和电子大宗气体。电子特种气体主要指

、六氟化硫、三氟化氮、氨气及磷化氢混合物,占生产制造使用气体的52%;电子大宗气体指

氦气、氮气、氧气、氢气、二氧化碳和氩气,占生产制造使用气体的48%。
硅烷:sih4是显示屏制造中最关键的气体之一,与氨气(nh3)结合使用,形成用于a-si晶体管

的氮化硅层,与氮气(n2)结合使用,形成用于ltps晶体管的预准分子激光退火a-si,或与氧化

亚氮(n2o)结合使用形成mo晶体管的氧化硅层。
三氟化氮:从a-si和ltps显示屏生产中的消耗和使用量来看,nf3是a-si和ltps显示屏生产中使

用最多的单种电子材料,而在mo生产中,其使用量不如n2o。nf3用于清洁pecvd腔室。对于

这种气体,需要具备可扩展性,才能在竞争激烈的市场中建立所需的成本优势。
氧化亚氮:ltps和mo显示屏生产中均使用,从mo生产中的消耗和使用量来看,n2o已超过

nf3成为mo生产中用量最多的电子材料。n2o是一种区域性、本地化的产品,由于其成本低,

无法采用物流成本高昂的长供应链。平均每5.5平方米素玻璃重约2公斤,每月一般需要240吨

n2o才能生产120k的8.5 mo显示屏。最大的n2o压缩气体拖车每次只能提供6吨n2o,对于mo

生产来说,这种做法成本高,风险大。
氮气:一般的大型显示屏厂氮气需求可高达50,000 nm3/小时,因此现场发生器是一种具有成本

效益的尊龙平台登录的解决方案,与传统的氮气工厂相比,显示屏制造中的co2(二氧化碳)排放减少8%。
氦气:氦气用于流程中和流程后冷却玻璃。由于氦气是一种不可再生气体,鉴于其成本和可得性,

制造商正在研究减少氦气的使用。

武汉纽瑞德贸易有限公司成立于2007年,主要经营特种气体、稀有气体、高纯气体、有机气体、

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