在电气设备中使用介质的必要条件之一是其化学惰性，即不能与设备中使用的材料发生反应。在正常条件下，纯
六氟化硫可以满足这一要求。
六氟化硫的化学性质很稳定。不在空气中燃烧或支持燃烧，不与水、强碱、氨、盐酸、硫酸等反应。sf6的热稳定性很好。通常，自分解反应不会在室温甚至更高的温度下发生。sf6的热分解温度约为500℃。但在某些金属存在下，sf6的稳定性大大下降，热分解温度为150-200℃。试验表明，当温度超过150℃时，六氟化硫开始与硅钢缓慢相互作用，形成硫化物和氟化物。在铝或铜的存在下，
六氟化硫在约200℃开始分解，250℃时sf6开始与金属钠反应生成氟化钠等。但在223℃下对6氟化硫气体中270种金属的测试结果表明，腐蚀程度仍然不明显。
因此sf6在电气设备正常工作的温度范围内是稳定的，对电气设备中常用的金属（钢、铝）和绝缘材料（环氧树脂等）没有化学影响。只有在温度达数千摄氏度的电弧作用下，六氟化硫才会发生剧烈的分解和电离，生成多种分解产物，其中一些会降低填充石英粉的环氧树脂绝缘子的绝缘性能。
六氟化硫分子不含碳，这是用作灭弧介质的一大优点。它可以避免sf6断路器使用水平放置的绝缘部件。否则，由于碳粒聚集在表面形成连续的导电层，运行中的油变得越来越黑，油中的碳含量在增加，因此必须更换绝缘油。
此外，要严格控制
六氟化硫气体的空气含量。因此，在
六氟化硫气体绝缘设备中，触头的氧化可以忽略不计，从而大大提高触头的使用寿命。
